点击图片查看原图控制器：650 系列
最大基板尺寸;ø300毫米（9英寸×9英寸）
最大转速:12，000 转/每分
支持的流程：
HL系列通常用于溶剂型、碱型或酸性加工的手套箱：涂层、蚀刻、显影、漂洗-干燥和清洁。虽然所有这些过程都得到支持，但劳雷尔建议仅使用一次性，因为已知的材料冲突。例如，光刻胶和显影剂（交叉污染），以及 SC-1 和 SC-2（HCl + NH4OH），会产生 NH4Cl，吸入危险。 提供许多手动和自动分配选项。
| 郭秀 QQ：2853369891 手机：18518179676 电话：010-64714988-176 传真：010-84786709-667 邮件：sales7@handelsen.cn |
 |
 |