点击图片查看原图控制器：650 系列
最大基板尺寸;ø150毫米（5英寸×5英寸）
最大转速:12，000 转/每分
过程保障：
所有Laurell过程控制器的"过程保护"功能确保相同的过程不会无意中在同一基板上运行。可以很容易地绕过此功能以再次运行相同的进程，而无需打开系统，或者可以一遍又一遍地运行序列（循环）。
所需设施
| 郭秀 QQ：2853369891 手机：18518179676 电话：010-64714988-176 传真：010-84786709-667 邮件：sales7@handelsen.cn |
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