点击图片查看原图控制器：650 系列
最大基板尺寸;ø200毫米（7英寸×7英寸）
最大转速:12，000 转/每分
2过程/密封吹扫：
需要 60–70 PSIG （4–5 bar） 的氮气/CDA来对迷宫式电机密封件加压。这种气体还会吹扫工艺腔室。气体消耗非常低，每小时3立方英尺（0.085米）3/小时）用于我们的标准电机，每小时 20 立方英尺（0.566 米）3/小时），用于我们的高性能电机。提供 10 英尺（300 厘米）的 3/16 英寸 （~4 毫米） 内径 X 1/4 英寸 （~6 毫米） 外径PE管。
真空：
建议在 0 英寸汞柱下真空 25–28 英寸（~635–711 毫米）汞柱，流量为 4.5 SCFM（0.127 立方米/分钟）。 提供 10 英尺（300 厘米）的 3/8 英寸（~9.5 毫米）外径 X 1/4 英寸（约 6 毫米）内径PE管。
功率：
95 到 240VAC， 47/63HZ， ~300 瓦
| 郭秀 QQ：2853369891 手机：18518179676 电话：010-64714988-176 传真：010-84786709-667 邮件：sales7@handelsen.cn |
 |
 |