控制器:650 系列
最大基板尺寸;ø150毫米(5英寸×5英寸)
最大转速:12,000 转/每分
过程保障:
所有Laurell过程控制器的"过程保护"功能确保相同的过程不会无意中在同一基板上运行。可以很容易地绕过此功能以再次运行相同的进程,而无需打开系统,或者可以一遍又一遍地运行序列(循环)。
所需设施
N2过程/密封吹扫:
需要 60–70 PSIG (4–5 bar) 的氮气/CDA来对迷宫式电机密封件加压。这种气体还会吹扫工艺腔室。气体消耗非常低,每小时3立方英尺(0.085米)3/小时)用于我们的标准电机,每小时 20 立方英尺(0.566 米)3/小时),用于我们的高性能电机。提供 10 英尺(300 厘米)的 3/16 英寸 (~4 毫米) 内径 X 1/4 英寸 (~6 毫米) 外径PE管。
真空:
建议在 0 英寸汞柱下真空 25–28 英寸(~635–711 毫米)汞柱,流量为 4.5 SCFM(0.127 立方米/分钟)。 提供 10 英尺(300 厘米)的 3/8 英寸(~9.5 毫米)外径 X 1/4 英寸(约 6 毫米)内径PE管。
功率:
郭秀 QQ:2853369891 手机:18518179676 电话:010-64714988-176 传真:010-84786709-667 邮件:sales7@handelsen.cn |