点击图片查看原图控制器：HL 系列匀胶机
最大基板尺寸;ø300毫米（9英寸×9英寸）
最大转速:12，000 转/每分
需要 60–70 PSIG （4–5 bar） 的氮气/CDA来对迷宫式电机密封件加压。这种气体还会吹扫工艺腔室。气体消耗非常低，每小时3立方英尺（0.085米）3/小时）用于我们的标准电机，每小时 20 立方英尺（0.566 米）3/小时），用于我们的高性能电机。提供 10 英尺（300 厘米）的 3/16 英寸 （~4 毫米） 内径 X 1/4 英寸 （~6 毫米） 外径PE管。
真空：
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